Für die Versorgung von Luftbefeuchtungsanlagen müssen Parameter eingehalten werden, um Personen und Objekte vor bedenklichem Eintrag zu schützen.

Die im Wasser befindlichen Inhaltsstoffe wie Calcium, Magnesium, Mineralien, Feststoffe und biologische Belastung beeinträchtigen die Funktion der Befeuchtungsanlage und die Gesundheit der Mitarbeiter. Verdunstet das reine H2O, bleiben Kalk und Mineralien zurück und setzen sich auf Objekte, Produkte und Oberflächen ab. Gerade in der Halbleiterherstellung und Weiterverarbeitung wäre eine Benetzung mit Salzen fatal. In anderen Industriezweigen ist ein reines Befeuchtungswasser ebenso wichtig.
Gerade zum Schutz der Luftbefeuchtungstechnik wie den Feinstnebeldüsen, die mit Bohrungsgrößen von bis zu 0,08 mm ein optimales Befeuchtungswasser benötigen.

Mikrobiologisch einwandfreies Luftbefeuchtungswasser kann auf unterschiedliche Weise hergestellt werden. Zudem können die Qualitätsstufen an die Bedürfnisse des Kunden angepasst werden.
Alle Feststoffe werden mittels Partikelfiltern mit unterschiedlichsten Abscheidegraden eingesetzt. Eine Enthärtungsanlage entfernt den Kalk. Ionenaustauscher und Umkehrosmoseanlagen entfernen Mineralien, um die elektrische Leitfähigkeit stark zu reduzieren. Die Umkehrosmoseanlage veredelt das Befeuchtungswasser zudem mit einer Keimfreiheit von bis zu 99,9%. Mittels einer UV-Bestrahlung kann jedoch jedes Wasser, egal ob enthärtet oder demineralisiert keimfrei hergestellt werden.